10.6um F-тета линзы / монтированные 2-элементные F-тета линзы

Стандартные линзы фокусируют лазерный луч на сферической плоскости, в отличие от идеального плоского или плоского поля.Использование ƒ-тета линз обеспечивает плоскость фокусирующей поверхности и почти постоянный размер пятна на всей плоскости изображения XY или поле сканированияПоложение точки на плоскости изображения прямо пропорционально углу сканирования.Телецентрические ƒ-тета линзы фокусируют лазерный луч так, чтобы он был почти перпендикулярно (в пределах 1 градуса) рабочей поверхности по всему поле сканированияЭто гарантирует круглость пятна даже в углах сканируемого поля, и если отверстия или каналы обрабатываются, они перпендикулярно рабочей поверхности.

Цветокорректированные линзы ƒ-тета предназначены для размещения нескольких длин волн.В цветокорректированной линзе фокусные точки для каждой длины волны совпадаютЭто достигается путем планирования идеального сочетания различных типов стекла для различных элементов линз в линзе.Цветокорректированные ƒ-тета линзы в основном используются для одновременного просмотра рабочей поверхности через сканирующую линзу с камерой во время лазерной обработкиЕще одно распространенное применение цветокорректированных сканирующих линз для использования в конфокальных сканирующих микроскопах, которые требуют широкого диапазона видимых длин волн.

Мы в основном поставляем 3 серии линз f-тета, STY, STS и STJ.

В следующих таблицах сокращения следующие: FL означает эффективное фокусное расстояние; EP означает максимальный диаметр входного луча; SAR означает область сканирования, AS означает остановку диафрагмы; WD означает рабочее расстояние;ОД означает максимум. наружный диаметр; MT означает нить крепления; fs означает расплавленный кремний, SA означает максимальный полный диагональный угол сканирования; L2 (a1) означает рекомендуемое разделение зеркала; a2 означает второе зеркало к фланцу;L1 означает расстояние 2-го зеркала и сканирующей линзы; SL означает длину сканирования; Длина означает общую длину сканируемого объектива; FSD означает диаметр фокусированного пятна.

1. Очки с одноэлементом сканирования (F-тета линзы)

1) линзы F-тета серии STSL

Стены для сканирования STSL специально разработаны и оптимизированы для использования в 2-осевых системах гальвосканеров с лазером CO2 с диаметром полного луча до 15,0 мм.Набор зеркал, подходящий для использования с диаметром луча до 15 мм, требует увеличения разделения зеркал по сравнению с меньшими зеркаламиЭти измененные оптические условия удовлетворяются серией STSL. Эти одноэлементные линзы предназначены для представления наилучшего достижимого компромисса для отклонений на оси и вне оси.плоскость поля и характеристики F-теты, полученный с использованием одноэлементной сферической поверхности диаметром (стандартный) 48 мм. Материал линзы ZnSe.

• Очки имеют форму мениска; одна из них выпуклая и одна выпуклая поверхность.
• Размещения зеркал одинаковы для каждой линзы STSL, поэтому любая линза может заменить любую другую в ячейке и быть правильно расположена.
• Диаметры фокусируемых точек предполагают полный луч диаметром 15 мм (примерно 12 мм 1/e2) и режим TEM00 (M2 = 1).
• Для всех линз STSL диаметр 48,0 +0/-0,1 мм, а толщина края 3,0 +/-0,1 мм.

Для вышеперечисленных линз мы можем предоставить опцию крепления следующим образом:

2) Монтируемые линзы F-тета серии STXH

Информация о заказе: STXH-10.6-SAR-EFL-EP-LD, где SAR - область сканирования (mmxmm), EFL - фокусное расстояние (mm), EP - максимальная входная зрачка (mm), например, 14 или 20 мм, и отсутствие указания - 14 мм,LD - диаметр линзы (мм), например 38, 48 или 65 мм и никаких указаний на 48 мм.

3) STY серии 10.6um монтированные F-тета объективы

4) Очки F-тета серии STH 10.6um

2. Монтируемые 2-элементные F-тета линзы

1) Серия STU2 Монтированные 2-элементные F-тета линзы

Эти двойные (STU2) и тройные (STU3) объективы для сканирования предназначены для работы с той же конфигурацией сканирующих зеркал и размерами лучей, что и одноэлементные объективы STSL,но предлагаются на более коротких фокусных расстояниях, где возможна лучшая производительностьУ двойников есть фокусные расстояния от 75 до 300 мм. Выше 300 мм преимущества использования двойника не велики. Тройники предлагаются в двух фокусах, 75 и 100 мм.Эти дают дифракции ограниченные показатели и даже дальнейшее улучшение по сравнению с соответствующей двойной.

Все линзы изготовлены из лазерного ZnSe. Каждая из линз поставляется в черном анодированном алюминиевом подвеске и также может быть оснащена окном защиты ZnSe в качестве опции.

Спецификации:

• Материал: все элементы и защитное окно из лазерного ZnSe.
• Подробности установки: см. рисунок 10.51.
• Диаметр балки: до 15 мм (12 мм 1/е2)
• Поле оптического сканирования: +/-20° в X и Y.
• Фокальное расстояние: в пределах 1%.
• Поглощение: < 0,25% на элемент.
• Трансмиссия: > 99,6% на элемент, покрытый AR/AR для 10,6 мм.
• Порог повреждения: CW 3000W/mm при 10,6mm.

3. Монтируемые три элемента F-тета линзы

1) 3-элементные линзы F-тета серии SL3

2) Сканирующие линзы серии STU3

• огневые расстояния 75 и 100 мм соответственно
• объектив с фокусным расстоянием 75 мм также почти телецентричен (см. ниже) с фокусированным лучом менее 5° к нормальной дифракции, ограниченной производительностью по всей плоскости изображения
• практически нулевая ошибка F-тета
• может быть оборудован защитным окном

Конструкции на заказ:

Если вам нужен объектив для другого набора условий, например, более крупного луча, вы можете использовать его в любом случае.Различные размеры поля или фокусное расстояние, или телецентрический дизайн, тогда пожалуйста, свяжитесь с нами.

Сравнение размеров точек между STSL, STU2 и STU3

Размер СТУ2 и СТУ3

4Телецентрические линзы F-тета серии STG

Конструкция на заказ и ¥ предоставляется по запросу.